PFLOW5001 流量传感器
此款热式流量传感器系列,是利用气体流过外部热源加热的流路管道时产生的温度场变化来测量气体质量流量,核心MEMS芯片集成一个热源(加热元件)和一对测温元件(分别置于热源的两边)。应用于呼吸设备、喷雾器、制氧机、吸入和麻醉设备、暖通空调、燃料电池、气体分析仪、过程控制、汽车发动机等诸多应用领域.此款产品是用于歧管配置的MEMS质量流量传感器
Measuring range [SCCM]
0 to 0.1...20 SLPM or 0 to ±0.1...±20 SLPM
Output signal
Linear, 0.5...4.5 VDC, Rs485 Modbus, I2C
Accuracy [± % FS] max.
±1 r.d. or ±0.2 f.s whichever is larger
Supply voltage [VDC]
8...24
Humidity range
0...95% RH, no condensation
Product description
MEMS mass flow sensors for manifold configuration